EDI超纯水设备电阻率下降原因有哪些？
有机物污染
EDI纯水设备进水中的有机胶体受到污染，反渗透只能去除相对分子量大于200的有机胶体。如果分子量低于200，它将进入EDI超纯水设备。这部分低分子量材料被组件中的阴阳离子交换树脂吸附在骨架的网格和阴阳离子膜的表面上，EDI纯水设备，阻碍了阴阳离子的置换反应和水离子穿透阴阳离子膜的速度，导致EDI工作性能下降，电阻率下降。
超纯水设备出现堵塞问题的原因
原因一：颗粒或是胶体堵塞
进水颗粒度>5um时会造成进水流道堵塞，引起模块内部水分分部不均匀，从而导致模块整体性能降低。
建议：在进入EDI模块前段增设保安过滤器(<0.2um)。
原因二：有机物堵塞
当进水有机物污染TOC或TEA含量超过设计标准时，淡水室的离子交换树脂和离子膜会发生有机物的堵塞。
建议：采用高PH值的对淡水室及浓水室循环清洗。
超纯水的水质直接关系到半导体成品率
在半导体生产中，edi纯水设备，超纯水可用于晶圆漂洗、化学稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等。超纯水的质量直接关系到半导体的成品率，纯水设备，随着半导体元件尺寸的缩小和细度的提高，对超纯水质量的技术要求也在不断提高。
在超纯水生产过程中，只要微粒子、电阻率和TOC与气泡中的某一指标稍有差异，就会使半导体元件生产的合格率下降。
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